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光纖激光尺系列
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█ 產品概述 光纖激光尺產品
█ RLU激光裝置
RLU10在任意一個小時內的激光穩頻精度為±50 ppb,它是適合大部分非真空環境應用的經濟實用的解決方案。
適合要求最高測量精度的應用,例如真空環境應用。RLU20在任意一個小時內的激光穩頻精度為±2 ppb。
█ RLD發射頭
RLD10-PMI(平面鏡干涉儀)是雙光程系統,其配置適合需要平面鏡的應用(例如XY平臺應用)。
RLD10-RRI(角錐反射鏡干涉儀)是單光程干涉儀,適合需要角錐反射鏡的應用(例如更長距離或更高速度的應用)。
RLD10 DI(差分干涉儀)是雙光程干涉儀系統,可提供相對測量。非常適合真空室應用。
RLD10-XX(無內置光學鏡干涉儀)發射頭的設計不帶內置干涉鏡組。這允許發射頭用于帶有專業光學鏡組的序列中,以實現線性、角度和直線度測量。
█ 補償器
采用環境傳感器監控機器周圍環境,并提供位置反饋信號的實時補償。
█ 激光尺接口
接受差分模擬1 Vpp正弦/余弦信號,并通過4096細分,輸出36位的并行信號,在1 m/sec的速度下分辨率可達38.6皮米。
RLI20-P使用來自RLE系統的1 Vpp正弦/余弦信號,可提供到Panasonic(MINAS A5系列)控制器的接口。
細分盒的REE范圍為更低等級的信號細分提供簡單的“即插即用”解決方案,使數字正交輸出信號的分辨率提高了至少20倍。
█ 光學鏡組和組件
高反射率平面鏡和可輕松調節的平面鏡安裝底座,以及信號損失最小的真空室窗口。選用這些光學鏡組和組件可以使激光尺到達最佳測量性能。
光路分開鏡組件增加了RLD10-X3-DI差分干涉儀發射頭的測量光束和參考光束之間的偏置量。
當與RLD10-A3-XX發射頭配合使用時,可使整個測量路徑保持在真空環境中。
雷尼紹多光路集成鏡用于在XY平臺應用中測量6個自由度,它可以利用RLD10-X3-DI干涉儀發射頭的優異性能精確測量俯仰、扭擺及滾擺誤差。 |