█　產品概述

光纖激光尺產品

█　RLU激光裝置

• RLU10激光裝置

RLU10在任意一個小時內的激光穩頻精度為±50 ppb，它是適合大部分非真空環境應用的經濟實用的解決方案。

• RLU20激光裝置　

適合要求最高測量精度的應用，例如真空環境應用。RLU20在任意一個小時內的激光穩頻精度為±2 ppb。

█　RLD發射頭

• RLD10平面鏡干涉儀

RLD10-PMI（平面鏡干涉儀）是雙光程系統，其配置適合需要平面鏡的應用（例如XY平臺應用）。

• RLD10角錐反射鏡干涉儀

RLD10-RRI（角錐反射鏡干涉儀）是單光程干涉儀，適合需要角錐反射鏡的應用（例如更長距離或更高速度的應用）。

• RLD10差分干涉儀

RLD10 DI（差分干涉儀）是雙光程干涉儀系統，可提供相對測量。非常適合真空室應用。

• RLD10無內置光學鏡干涉儀

RLD10-XX（無內置光學鏡干涉儀）發射頭的設計不帶內置干涉鏡組。這允許發射頭用于帶有專業光學鏡組的序列中，以實現線性、角度和直線度測量。

█　補償器

• RCU10實時正交補償系統

采用環境傳感器監控機器周圍環境，并提供位置反饋信號的實時補償。

█　激光尺接口

• RPI20并行接口

接受差分模擬1 Vpp正弦/余弦信號，并通過4096細分，輸出36位的并行信號，在1 m/sec的速度下分辨率可達38.6皮米。

• RLI20-P激光接口 — Panasonic

RLI20-P使用來自RLE系統的1 Vpp正弦/余弦信號，可提供到Panasonic（MINAS A5系列）控制器的接口。 

• RSU10 USB接口

細分盒的REE范圍為更低等級的信號細分提供簡單的“即插即用”解決方案，使數字正交輸出信號的分辨率提高了至少20倍。

• REE細分盒

  RSU10 USB接口可接收來自RLE系統的1 Vpp正弦/余弦信號，通過16,384細分，并通過USB端口輸出位置讀數。

█　光學鏡組和組件

• 光學鏡組和附件

高反射率平面鏡和可輕松調節的平面鏡安裝底座，以及信號損失最小的真空室窗口。選用這些光學鏡組和組件可以使激光尺到達最佳測量性能。

• 15 mm DI光路分開鏡組件

光路分開鏡組件增加了RLD10-X3-DI差分干涉儀發射頭的測量光束和參考光束之間的偏置量。

• RVI20真空兼容型干涉鏡

當與RLD10-A3-XX發射頭配合使用時，可使整個測量路徑保持在真空環境中。

• RMAP多光路集成鏡

雷尼紹多光路集成鏡用于在XY平臺應用中測量6個自由度，它可以利用RLD10-X3-DI干涉儀發射頭的優異性能精確測量俯仰、扭擺及滾擺誤差。